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更新時間:2023-11-13
合測實業(yè)為日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐一級代理商/特約經(jīng)銷商。DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐最高工作溫度500℃、潔凈度100 級、氧濃度低于20ppm,主要應(yīng)用于固化半導體晶圓(光刻膠PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐產(chǎn)品特點:
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導體晶圓等。
最高工作溫度500℃。
采用耐熱高性能高效過濾器,可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。
高氣密性的壓力箱構(gòu)造,氧濃度到達時間短,N2 消耗量極低。
磁密封保持高氣密性,采用水冷機構(gòu)保護密封部件免受熱量影響。
可實現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調(diào)節(jié)。
標準裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收。
日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術(shù)參數(shù):
型號 | DTN450C | DTN650C |
外形尺寸(寬× 深× 高mm) | 1240×1010×1750 | 1450×1060×1960 |
內(nèi)尺寸(寬× 深× 高mm) | 450×450×450 | 660×500×660 |
內(nèi)部容積 | 91L | 216L |
溫度范圍 | 室溫+50 ~ 500℃ | |
溫度調(diào)節(jié)精度 | ±1.0℃(at500℃) | |
溫度分布精度 | ±8.0℃(at500℃) | |
最高溫度到達時間 | 約110 分 | |
氧濃度 | 20ppm 以下 | |
氧濃度到達時間 | ≤ 20 分(250L/min 氮氣) | ≤ 25 分(250L/min 氮氣) |
潔凈度 | 溫度恒定時100 級 | |
加熱方式 | 不銹鋼加熱管 | |
冷卻機構(gòu) | 不銹鋼冷卻水換熱器 | |
HEPA 過濾器 | 集塵效率:0.3um 粒子99.97% 以上 | |
排氣口 | 40KF 法蘭 | |
氮氣入口 | Rc1/2 | |
冷卻水入口 | Rc3/4 | |
熱水出口 | Rc3/4,2 個 | |
電源(50/60Hz)額定電流 | 3 相AC380V 20A | 3 相AC380V 27A |
安全性:
門檢測開關(guān)
溫度過升防止器
氧濃度異常安全裝置
氮氣壓力檢測
氮氣流量檢測
冷卻水流量檢測
漏水傳感器
過電流漏電漏電保護開關(guān)